二手 SPEEDFAM 15B-5P #9208821 待售

SPEEDFAM 15B-5P是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,能夠產生極其精確且精細的精細級飾面。該系統是化學機械拋光（CMP）工具，非常適合用於半導體、MEMS等相關應用的研磨、研磨和拋光晶片。此單元使用旋轉控制頭以及壓板和機器人來調整研磨過程,並針對您的特定應用進行優化。15B-5P模型的線性軸定位精度± 2 µm，可重復性± 1 µm。它在X（水平）和Y（垂直）軸上也有+-0.5µm的重復性。SPEEDFAM 15B-5P的工作區域直徑為15英寸,深度為5英寸。該型號還采用了運動範圍廣、最高500 RPM的旋轉控制頭，允許光滑方便的晶圓研磨、研磨、拋光。15B-5P還具有各種專門為您的應用設計的磨石、磨料和拋光介質。SPEEDFAM 15B-5P還提供了許多其他功能。其中包括自動裝卸、裝卸、裝卸轉移、自動研磨拋光控制機、減塵工具和集成式熱交換器資產。它還有一個自我診斷操作員界面，一個安全互鎖模型，以及其他一些安全功能，以確保所有任務以最小的風險安全準確地進行。15B-5P是晶圓研磨、研磨和拋光的市場領導者,非常適合需要高性能、高效和可靠設備的制造商和專業用戶。這臺機器不僅能提供各種表面處理和復雜的地形，而且還能提供可重復和令人滿意的結果。