二手 SPEEDFAM 16B-5L #293797039 待售

SPEEDFAM 16B-5L是半導體工業中使用的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它能夠對直徑最大為8英寸的晶片進行單晶片和批處理。系統裝有32個位置的研磨頭，允許在單個循環中最多可以研磨32個晶圓。該裝置能夠獲得精確的研磨和研磨效果，非常適合大批量生產和研究應用。該機器包含一個轉接機器人，設計用於在研磨、研磨和拋光站之間垂直移動晶片。機器人和斜墻防止磨碎和拋光臺階之間的顆粒交叉汙染。研磨頭設計為提供均勻的表面光潔度,並通過高級研磨、研磨和拋光提供精確的幾何形狀和尺寸。使用精密空氣軸承主軸以恒定速度旋轉晶片。主軸的懸浮力能消除振動，確保晶片在整個研磨過程中保持完全相同的位置。這有助於最大限度地減少對晶片進行評分或其他損壞的可能性。SPEEDFAM 16B5L工具還包含一臺高速車載計算機,可控制資產的所有功能。這臺計算機是用專用軟件編程的，用於監控機器的運行。16B-5L提供卓越的吞吐量精度、可重復性和表面光潔度。這臺機器具有生產半導體行業質量和精度最高的晶片的能力。它的高速、精確的操作和靈活性使其成為研究和大批量生產應用的理想選擇。