二手 SPEEDFAM 16B-5L #9276640 待售

SPEEDFAM 16B-5L晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種用於精密晶圓精加工的全自動系統。該單元能夠在10-20分鐘的循環時間內進行快速、精確的研磨、研磨和拋光操作。SPEEDFAM 16B5L設計用於使用各種尺寸和配置的3升、4升和6升晶片,最大饋電速率為28-32英寸/秒。該機器還配備了專有的計算機控制真空室，可確保完全覆蓋、徹底清潔和更安全的操作。16B-5L由一整套自動化組件組成,包括機器人手臂、多個磨頭、輪架、研磨臺、拋光機和CCD攝像機。機器人手臂能夠編制索引以及攜帶多達五個工具，這樣可以同時進行研磨、研磨和拋光操作，從而允許更快的循環時間和更高的吞吐量。磨頭具有直線導軌、交叉進給軸向傳動和雙面主軸，以提高精度和多功能操作。16B5L的車輪支架采用耐用鋁制而成，具有精密的滾珠軸承以及電動驅動和進給功能，可快速移動。研磨臺具有可調節的速度、振蕩和背壓以及隔振功能，可提高效率和精度。工具中的拋光器能夠使用各種拋光布和研磨膜進行操作，從而實現全方位的拋光飾面。CCD攝像機允許用戶監控正在進行的工作，並確保晶片的精確整理。總體而言,SPEEDFAM 16B-5L晶圓研磨、研磨和拋光資產是一種全自動模型,專為快速、精確和可靠的晶圓精加工而設計。SPEEDFAM 16B5L配備了一整套組件,可確保高生產率,而機器人手臂、多個磨頭、車輪安裝架、磨床、拋光機和CCD攝像機則可保證最佳的光潔度。