二手 SPEEDFAM 16B-5P #293589766 待售

SPEEDFAM 16B-5P是一種通用、優質的晶圓研磨、研磨、拋光設備。它可以接受4「至8」晶片,能夠實現卓越的表面光潔度和一致的結果,同時保持最高的吞吐量和工藝質量。晶圓研磨系統通常用於在背面研磨或化學機械平面化（CMP）之前從晶圓表面去除多余的材料。旋轉和固定的研磨板由伺服電動機驅動，具有可調的轉速。可以根據各種厚度的晶圓校準該單元,以獲得最佳結果。16B-5P裝有金剛石漿機，用於研磨和拋光操作。金剛石漿料自動分配，確保在任何時候都對晶片施加正確的漿料量。漿料在施用前經過過濾，可以根據正在進行的研磨或拋光操作進行調整。金剛石漿料也有溫度控制，以保證最高水平的工藝重復性。SPEEDFAM 16B-5P還配備了可調水壓工具，以確保泥漿顆粒均勻分布在整個工作面。該資產還具有自動托盤模型，可用於在整個設備中運輸晶圓。自動托盤系統允許操作員在不同的工作板之間切換並調整其速度設置。為確保達到工藝質量的最高標準，16B-5P具有激光表面檢測、工藝控制、實時晶片修復和溫度控制等幾個先進特點。激光表面檢查單元允許操作員檢測晶圓表面的任何不規則性，而過程控制機器則跟蹤整個過程並隨時監控刀具的性能。實時晶片修復能力允許快速調整研磨或拋光操作,從而提高工藝質量並提高吞吐量。最後，溫度控制資產實現了精確準確的溫度控制，提高了晶圓的均勻性和一致性。