二手 SPEEDFAM 16B-5P #293589767 待售

SPEEDFAM 16B-5P晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種精密的機器，旨在以最高效的方式生產出最高質量的表面飾面。其特點包括五站處理室、高效真空泵、高負荷壓力表系統以及垂直和水平調節選項。16B-5P的五站加工室由高品位壓鑄基座構成，包括兩塊研磨板、一塊拋光板和兩塊研磨板。這種構造允許同時研磨、研磨和拋光五個晶片一次，節省時間和成本。晶片板的設計非常耐用，能夠承受磨削、研磨和拋光過程中的高負荷。研磨板模塊裝有一種特殊的陶瓷材料，對獲得最佳的表面光潔度起著重要作用。SPEEDFAM 16B-5P還包括一個功能強大的真空泵，它能夠快速創造一個約70微米深度的真空。泵還配備了顯示當前真空水平的集成壓力表。這樣可以使真空壓力快速輕松地調整到所需的水平。該單元進一步配備了高負載壓力表單元，以確保施加到每個晶片上的壓力保持在最佳水平。壓力表通過位於單元內的一系列傳感器測量施加的壓力,可以手動或通過數字顯示器進行調整。最後,16B-5P具有垂直和水平調整選項,以確保始終為正在執行的過程正確設置計算機。這樣可以確保SPEEDFAM 16B-5P在所有基材尺寸和拋光介質上保持均勻的性能。綜上所述，16B-5P是一種可靠、高效的晶圓研磨、研磨、拋光機，旨在以最高效的方式提供最高表面光潔度。SPEEDFAM 16B-5P利用五站加工室、高效真空泵和高負荷壓力表工具,快速一致地實現了最佳的表面光潔度。設備的垂直和水平調整選項進一步允許在所有基板尺寸和拋光介質上實現通用的一致性和均勻性。