二手 SPEEDFAM 16B-5P #9223968 待售
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SPEEDFAM 16B-5P晶圓研磨、研磨和拋光設備非常適合需要對半導體表面進行精確調節的應用。這臺用途廣泛的機器提供自動研磨、研磨和拋光工藝,用於處理單片機和多片機半導體晶片。該系統能夠一次進行研磨、研磨和拋光操作,同時保持高精度。16B-5P包括加載模塊、研磨模塊、研磨模塊、卸載模塊、拋光模塊和清潔模塊。加載模塊旨在將直徑不超過15英寸的晶片牢固地安裝到處理平臺上。磨削模塊能夠使用高速旋轉的金剛石磨削輪去除多達5微米的表面材料。研磨模塊使用兩個或四個金剛石燒結的磨料板,這些磨料板高速旋轉以完成晶片表面。卸載模組處理從處理平臺移除晶片的工作,而拋光模組則使用帶有漿料的拋光墊來進行晶片的最後整理。清潔模塊配有超聲波清洗罐和氣刀,確保最終產品清潔。SPEEDFAM 16B-5P還配備了先進的電子控制裝置,以實現最高的安全性和精確度。此機器使用戶能夠對諸如砂礫大小、處理時間、傳遞次數和要處理的晶圓數目等參數進行編程。此外,該工具可以用用戶定義的配方進行編程,以滿足不同的生產需求。該資產還包括遠程監視功能,允許用戶遠程檢查模型性能。總體而言,16B-5P是一種堅固可靠的晶圓研磨、研磨和拋光設備,非常適合要求高精度和重復性的半導體制造工藝。它易於使用、可靠,並且能夠提供多年可靠的服務。
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