二手 SPEEDFAM 16B-5P #9252228 待售

SPEEDFAM 16B-5P晶圓研磨、研磨和拋光設備是實現晶圓生產質量最高水平的精密研磨系統。它設計用於研磨，膝蓋，和拋光薄晶片用於電子和半導體。該單元由堅固、閉環的精密控制機組成，保持精確的拋光壓力、進料速率和粒徑分布。刀具的主要組件是研磨臺、研磨臺、拋光臺和晶圓處理資產。磨床采用通過泥漿泵的研磨泥漿流動以及壓力分布控制模型。磨料漿料可應用於磨床，以達到所需的晶圓尺寸減小。此外，磨床可以利用不同類型的磨石來獲得所需的表面光潔度。研磨臺具有多種研磨介質，包括用於調節晶圓平整度的研磨粉和漿料。此外，它還配備了可調節的壓力設備，能夠實現均勻的研磨壓力，以及收集過程中產生的研磨粉塵的除塵系統。拋光臺提供了消除晶圓表面隨機劃痕的環境。拋光臺采用均勻的電控拋光頭,可確保一致的平整度和表面光潔度。此外，拋光頭由電動機驅動，如果磨削壓力超過預設極限，可以立即停止。晶片處理系統具有自動晶片加載、卸載和傳輸功能。自動裝卸裝置無需人工幹預研磨過程。此外，通過在磨削階段和拋光階段之間快速高效地傳輸晶片，大大提高了機器的吞吐量。16B-5P工具提供先進的過程控制和用戶友好的軟件，允許用戶編程研磨，研磨和拋光參數。這為用戶提供了優化生產過程以提高體積效率的能力。該資產旨在最大限度地減少材料浪費，提高晶圓質量。此外，該模型的設計是為了最大限度的安全和靈活性，以及提供一個清潔和無塵的工作環境。