二手 SPEEDFAM 16B-5SSG-2M #9191607 待售
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SPEEDFAM 16B-5SSG-2M是一種緊湊高效的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統包含五個可用於研磨和研磨工藝的主軸和兩個用於拋光的主軸。頂部主軸兼具表面和邊緣研磨能力,底部主軸提供表面和背面研磨。主軸曲面具有專業的光潔度,它們根據工作以可變的速度旋轉。16B-5SSG-2M裝有一個用於固定夾緊晶片的電動卡盤和一個用於裝載晶片的電動提升裝置。它還包括一個磨料漿料進料單元,使磨料漿料可以在研磨、研磨和拋光過程中使用。可調流量和供應料鬥,以確保磨料漿料的連續供應磨削。機器配有掃描顯微鏡以監測制備過程,並配有視覺引導燈以輔助晶片零件的定位。刀具還配有水冷切削輪,以便在研磨和研磨過程中快速去除材料。資產的其他特點包括用於控制和操作的內部電源、用於將晶片固定在卡盤上的真空發電機、磁性卡盤定位模型以及用於研磨過程的各種介質。設備還配備了合適的可編程邏輯控制器來控制過程。SPEEDFAM 16B-5SSG-2M設計簡單高效,適用於半導體和光電晶片的研磨研磨、拋光等多種工藝。它允許在各種生產環境中高效生產。該系統安全、可靠、經濟高效,最高生產率高達每小時四個晶圓。該設備將為要求最苛刻的應用程序提供多年可靠且可重復的研磨、研磨和拋光效果。
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