二手 SPEEDFAM 16B-5SSG-2M #9257687 待售

SPEEDFAM 16B-5SSG-2M是為先進半導體加工而設計的多功能晶圓研磨、研磨、拋光設備。這個系統由一個集成的機架組成，五個主軸可以處理多達16英寸的晶片。每個主軸最多可容納兩個8英寸盒式磁帶或一個16英寸盒式磁帶。所提供的伺服電動機產生恒定的工作速度,最高速度為300 RPM,而電源進給器對研磨和/或研磨過程施加調節力。該裝置的主要應用是對薄薄或細膩的基板進行超精密研磨和拋光，如矽片和超薄玻璃。橫軸磨削站可提供跨所有軸向的高質量加工。該機器還裝有一個工作中（WIP）盒式磁帶工作站,以確保每個研磨和/或研磨作業在指定的時間內完成。這是通過托盤化自動化來完成的，以確保工作快速準確地進出16B-5SSG-2M。添加自動流體分配工具可快速準確地輸送流體,以確保磨削、研磨和拋光過程的最佳性能。此資產由用戶友好的界面與屏幕上的機器控制進行管理,該界面允許操作員監視關鍵參數,包括研磨速度、切削力和流體水平。此外，軟件控制的數字幹燥室可用於產生塗層和耐磨性，並有助於減少因處理不當而產生的排斥。該型號包括內置的安全功能，如「鎖定」功能，以幫助防止在維護過程中意外操作。門鎖設備還確保人員在維護和操作過程中的安全。該系統設計具有低噪聲操作和最小化振動，以確保操作人員的舒適性和減少任何環境影響。SPEEDFAM 16B-5SSG-2M已被證明是一種成本效益高、可靠且準確的半導體精加工解決方案。