二手 SPEEDFAM 16B-5SSG #293639480 待售

SPEEDFAM 16B-5SSG是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足MEMS、半導體和光電子制造商的苛刻要求。16B-5SSG采用模塊化的低高度設計,允許在安裝和維護過程中訪問整個機器。該系統包括集成的電氣面板、節能變頻驅動器和精密數字控制器。SPEEDFAM 16B-5SSG配備了先進的固定板研磨架，采用了最先進的空氣軸承技術，具有優越的平整度和晶粒保持力。這一獨特的功能允許同時在多達5個晶片上設置和操作多任務研磨或精加工操作。除了先進的研磨技術外，16B-5SSG還采用了集成真空裝置和定制設計的帶有集成加熱元件的支架。利用這臺機器，晶圓的溫度可以在整個拋光過程中精確調節。這樣可以確保穩定的研磨和拋光,而不會對晶片產生熱沖擊。SPEEDFAM 16B-5SSG具有一整套安全功能，包括安全互鎖工具，以防止未經授權進入資產，靜電屏蔽以盡量減少EMI排放，以及緊急停止開關，以便在出現意外危險時關閉模型。16B-5SSG的設計滿足了最嚴格的工藝要求,並配備了精確的控制能力,包括精確調整進料速率、研磨機直徑、研磨壓力、主軸速度和拋光速度等工藝參數。該設備已通過SPEEDFAM的測試和驗證，以確保可靠和可重復的晶圓研磨、研磨和拋光。SPEEDFAM 16B-5SSG提供了更好的生產率和最小的浪費和最大的操作安全性。它非常適合於半導體晶圓、MEMS和光電元件的研磨、研磨和拋光，以及電子和光子學行業的其他復雜工藝。