二手 SPEEDFAM 16B #293768837 待售

ID: 293768837
優質的: 2002
Double sided polishing machine 2002 vintage.
SPEEDFAM 16B晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種用於半導體器件加工的多合一解決方案。這種經濟高效的系統提供了更高的效率和一致的拋光表面。它設計用於以高達每分鐘30轉(RPM)的速度處理直徑為1"、5"和6"的晶圓。該單元包括兩個研磨階段、兩個研磨階段和一個拋光階段。第一研磨階段采用反向旋轉圓盤來減小每個晶片的尺寸。可調間隙控制圓盤的大小,以確保磨削結果一致。第二研磨階段利用固定研磨輪進一步減小晶圓尺寸,平滑缺陷。接下來的兩個研磨和拋光階段允許精確完成。這兩個研磨階段采用旋轉研磨盤進一步減小晶圓的大小和創建一個均勻的表面。旋轉的研磨板是可調的,以幫助達到所需的平坦度。一個磨料填充糊劑進一步平滑表面和消除任何剩余的缺陷。拋光臺利用柔軟的膝蓋使晶片具有鏡面光潔度。整個過程是自動化的,可以通過SPEEDFAM軟件界面進行遠程管理。這種人性化的界面允許操作員在研磨速度、研磨壓力、研磨速度、研磨壓力和拋光壓力等方面控制機器。此外,該界面還具有一套診斷和趨勢分析工具,可幫助排除任何問題。SPEEDFAM 16 B晶圓研磨研磨拋光工具是半導體器件制造的高效解決方案。它在一個資產中執行所有三個過程的能力不僅提高了效率,而且產生了一致的結果。研磨和研磨速度、壓力和拋光選項的範圍確保任何項目都能以最高精度完成。
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