二手 SPEEDFAM 16B #293825224 待售
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SPEEDFAM 16B是為半導體晶片精密表面精加工而設計的晶片研磨、研磨和拋光設備。該系統生產的高精度晶片表面具有一致、均勻的光潔度,符合半導體器件的行業標準。SPEEDFAM 16 B設計用於在各種不同的材料上提供一致的、可重復的過程,從Si和SiO2的硬質非工作層到III-V復合半導體材料的薄單晶層。16B提供直徑可達300毫米的晶圓研磨、研磨和拋光能力。該單元針對需要嚴格表面光潔度的材料進行了優化,如藍寶石和金剛石晶片。該機配備了精密主軸機,可進行研磨和研磨操作,以及精細的拋光操作,其中需要極其光滑、均勻的飾面。該工具還具有一個具有各種不同磨削和研磨石材的測距頭,這使得它容易產生任何材料所需的精加工。集成的接觸檢測資產感應材料的當前狀態,從而可以精確控制研磨和研磨過程。16 B還提供了一種可調節的空氣軸承,用於處理懸浮在空氣中的晶片,從而減少了由於處理不當而造成汙染和翹曲的可能性。SPEEDFAM 16B的工藝室溫度範圍為20-80攝氏度,非常適合熱處理。該模型還配備了晶圓檢測和缺陷分析的集成圖像設備。該圖像系統可用於快速準確地識別晶片缺陷,有助於確保一致的過程結果。此外,該設備還包括高級工藝監控和測量功能,以確保卓越的精加工質量。總體而言,SPEEDFAM 16 B是一種理想的解決方案,適用於需要各種材料精密表面處理的操作。先進的過程監控和測量功能與集成成像機相結合,有助於確保卓越的成品質量和一致的結果。可調空氣軸承也有助於減少晶圓翹曲和汙染的機會。這些特性使16B成為晶圓研磨、研磨和拋光的高效、可靠且經濟實惠的解決方案。
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