二手 SPEEDFAM 16B #293825438 待售
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SPEEDFAM 16B是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，專為大容量生產低粗糙度晶圓而設計。它設計用於加工直徑為6「和8」的晶圓，能夠處理高達每小時4000個晶圓。自動裝卸和全自動端點檢測系統等功能使SPEEDFAM 16 B成為各種應用程序的可靠、大容量解決方案。該單元包括一個主體/底座，裏面裝有研磨/研磨/拋光頭、裝卸臂和其他部件。磨削/研磨/拋光頭安裝在旋轉臺上,高度和角度均可調節。可調的高度和角度允許適應不同的晶圓大小和形狀。此外,磁頭還配備了螺旋研磨/拋光速度,轉速從0-600 rpm不等,可用於各種力、速度和壓力組合。裝卸臂是連接到雙通道自動支架的電動滾子機。裝載臂裝有兩個滾筒和一個裝有五個晶圓架的托盤。支架設計為自動將晶片從托盤中移出並進入刀具,而卸載臂將處理過的晶片返回托盤。對於控制資產，有一個與主體集成的16英寸控制面板。這使操作員可以方便地監視、調整和控制模型的操作。控制面板還帶有USB端口和以太網連接,可遠程訪問和操作設備。16B能夠處理各種晶片表面，包括塗有金、鎳、鋁、鈦和鎢的表面。它配備了用於測量壓力、溫度、研磨時間和產品質量等參數的過程中傳感器。這些數據可以通過控制面板進行監控，並用於每個過程的優化。16 B是一種精密可靠的低粗糙度晶片大批量生產系統。其多種特性和功能使其適用於晶圓研磨、研磨和拋光的廣泛應用。
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