二手 SPEEDFAM 18B-4L / 16B-5L #9208824 待售

SPEEDFAM 18B-4L/ 16B-5L是為商業用途而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它是一個先進的系統，為半導體行業的各種應用提供高精度的表面精加工。此高性能單元由多個組件組成,包括磨床、揚聲器、拋光器、緩沖刀片和復合板,所有這些組件均通過全自動過程進行控制。研磨過程從高速砂輪開始，該砂輪以高達4,500 RPM的轉速旋轉，以便從晶圓表面準確有效地去除多余的材料。研磨後，采用金剛石粘貼和壓縮的優化旋轉研磨裝置進行研磨，以保證晶圓表面的平整度和平行性。研磨過程之後是專門的拋光機，它具有廣泛的設置，以實現精確的平面化和表面精加工。這種高度精確的拋光工具可實現高達0.2 μ m的邊緣梯級,表面紋理可降至0.052 μ m （Ra）。然後,資產將使用緩沖器刀片、復合板和其他專用工具來產生高度拋光和反射的表面光潔度。18B-4L/ 16B-5L還提供各種高級功能,如可定制的工藝配方、對研磨、研磨和拋光時間的精確控制、負載監控和診斷功能、產品可追蹤性等等。這些以及模型的高準確性和可重復性,使其成為各種材料和應用實現高質量結果的合適解決方案。