二手 SPEEDFAM 18B-4P-1M #9133577 待售

SPEEDFAM 18B-4P-1M設備非常適合精密晶圓研磨、研磨和拋光應用。它具有耐用、堅固的設計，包括鋼基和可容納四個不同加工區的制造框架結構。安裝在底座上的是四個傾斜和剪刀提升臺，同時處理不同角度或工作面高度。每個工作臺的工作表面都采用永磁體,以便在濕磨或幹磨、研磨和拋光應用過程中牢固地固定晶片。高扭矩、變頻無刷直流電動機可實現0至3600 RPM的寬轉速設置。該系統包括塵埃控制和過濾系統，以消除空氣中的微粒汙染。該設計確保晶圓研磨、研磨和拋光工藝高效、操作方便，同時降低潛在環境危害暴露的風險。濕磨或幹磨、研磨和拋光過程采用三軸線角運動控制和精確定時運動控制。這一過程包括切割和去除過程，從而為光學和/或化學表面處理做好了預處理準備。該單元利用順序鏈接的操作來實現所有晶圓大小的叠代處理。晶圓可以手動加載/卸載,也可以通過自動晶圓處理系統加載/卸載,具體取決於應用程序。根據應用程序的要求,18B-4P-1M設計可容納各種流程參數。它可以很容易地調整，以控制表面表面的質量和所需的超微結構效果。作為機器安全和操作特性的一部分，所有晶片位置都受到精確監控。SPEEDFAM 18B-4P-1M是晶圓研磨、研磨和拋光的理想工具。其集成的設計使過程控制更加嚴格,靈活,能夠提供高質量、精確的結果,同時保護環境和產品免受環境危害。它在整個過程中提供閉環、精確的控制，確保每次晶圓運行都具有可重復的精度和精確度。