二手 SPEEDFAM 18B-5L #9143480 待售
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ID: 9143480
優質的: 1983
Lapping system
Includes:
Pump
Wafer position correcting carrier
Direct lead
Instruction
1983 vintage.
SPEEDFAM 18B-5L是一種創新的晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於在微電子設備上創建超高精度表面。它采用研磨和研磨工藝的組合,在晶圓上實現光滑、完美的光潔度。該系統適用於晶圓研磨、研磨和拋光各種材料,如矽酸鋁到激光燒結金屬和陶瓷。18B-5L單元具有全功能的過程控制功能和自動化功能,允許從每個零件周期獲得可重復、一致的結果。機器上裝有一個大的磨盤,上面有一個卡盤頂架,上面有可移動的板。利用變速驅動器,SPEEDFAM 18B-5L可以編程為以200至3000 RPM的寬速度執行不同的研磨和研磨任務。該工具還能夠與金剛石漿料或非金剛石磨料研磨。18B-5L有一個專利冷卻劑資產,提供冷卻劑的磨盤,當它運行。該模型還帶有顯示研磨和研磨過程參數的數字顯示屏,如旋轉速度和當前溫度。顯示器還有一個真空連接,以保持工件的安全,同時研磨和研磨。SPEEDFAM 18B-5L擁有裝卸機器人、自動化板、晶圓後磨盤、敷料盤、板架、接觸輪更換、金剛石漿等全方位外圍設備。該設備還具有電離飛濺防護功能,以減少靜電放電的可能性,並確保工作環境中的最高安全水平。其變速傳動、帶有卡盤頂座的磨盤、全過程控制能力、專利冷卻劑系統、數字顯示屏和全系列外圍設備等特點的結合,使18B-5L成為高精度表面的強大研磨單元。它使用戶能夠快速、高效、最高安全級別地創建超表面。
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