二手 SPEEDFAM 18B-5L #9208857 待售

SPEEDFAM 18B-5L是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於在半導體晶圓上生產超光滑、精確且均勻的表面。該系統由五個主要組成部分組成：一個皮帶研磨單元、一個行星研磨機、一個CMP研磨拋光機、一個高精度拋光滑塊和一個模塊化自動化單元。皮帶研磨裝置的設計目的是將晶片研磨和拋光到非常平坦的表面上，然後再在其他裝置中進行加工。該裝置利用可調節的速度驅動器根據所需的結果來改變動力拋光帶的速度。皮帶研磨單元還包含一個真空室，用於在研磨過程中捕獲碎屑。行星磨床是研磨和研磨晶片的理想工具。這個單元使用旋轉的細金剛石磨料和拋光墊在晶圓上形成均勻的表面。行星磨床設計有可調節的速度控制，以允許更精細的顆粒用於精加工。CMP研磨拋光器的設計目的是在晶圓上實現非常高的亞微米拋光表面。機器采用專有的研磨拋光工藝，確保達到高品質的精加工。CMP研磨拋光機還采用了獨特的水冷阻塞盤，以防止過熱並確保達到所需的拋光效果。高精度拋光滑塊設計為在拋光晶圓時提供高精度和重復性。該工具利用氣動滑塊臂沿著固定軌道移動,從而在晶圓表面上提供所需的拋光力。模塊化自動化資產旨在與18B-5L模型的其他組件進行接口，從而實現晶圓處理的完全自動化。這種全面的自動化設備提供了對磨削和拋光過程的全面控制,從而實現了最佳效果和最大效率。總體而言，SPEEDFAM 18B-5L是一種先進的、最先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統。該單元提供了無與倫比的精度、可重復性和控制，使其成為在半導體晶片上實現高質量曲面的理想選擇。