二手 SPEEDFAM 18B-5LNS #9007409 待售

SPEEDFAM 18B-5LNS是SPEEDFAM America, Inc.該單元設計用於在半導體制造過程中高速加工各種直徑的多個晶片，從2英寸到8英寸。該系統結合了從預拋光到最終研磨的所有工藝步驟，以實現晶片兩側的優越表面光潔度。18B-5LNS拋光機具有多種尖端特性，具有最佳性能。采用低調設計以方便晶片的裝卸、改進固定圍裙組件以減少起伏的晶片表面以及先進的氣動分隔器等特點,這些分隔器可靈活處理各種尺寸的晶片。該機還采用了先進的基於PC的運動控制器，以提高精度和可重復性。SPEEDFAM 18B-5LNS的自動研磨、研磨和拋光功能設計方便、高效。該單元配備了兩個獨立的並排處理車廂。每節車廂都包括獨立的裝載盤，並配有卡盤。車廂為3軸機械驅動，采用高性能無刷伺服電機。這些功能的微細加工打磨/地面幻燈片和交叉進給機制，提供卓越的平滑和可重復性。18B-5LNS單元配備了一個特殊的精密工程主軸組件,可確保準確執行所有工藝參數。此外還有一臺可調節高度、重力進料、晶圓處理機，可減少半導體廢物和碎片堆積。該工具還采用了可配置的俘虜/非俘虜拋光工藝選項,並采用了可控制顆粒沈積的旋轉式備份墊裝置。對SPEEDFAM 18B-5LNS資產的質量和性能進行了徹底評估,以確保其完全能夠始終滿足客戶要求。該型號現已提供一系列標準和定制的預配置選項,如多個磨輪、專用洗滌器、自動化控制器和視頻檢查系統。18B-5LNS設備是半導體工業不可或缺的工具，能夠提高工藝穩定性和最小生產周期。