二手 SPEEDFAM 20B-5L #293813756 待售

ID: 293813756
Double sided lapping machine.
SPEEDFAM 20B-5L是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於創建具有高度平坦度的精確表面和表面。該系統是一臺全自動、計算機控制的強健機器,吞吐量高,提供可重復和高質量的結果。它用途廣泛,可用於處理從幾毫米到幾英寸的各種設備尺寸。20B-5L裝有研磨頭、研磨板和拋光板,均安裝在精密的雙軸雙車頭上。此磁頭旨在加快工作流程,從而實現高效生產和提高產量。磨頭有一個金剛石磨料,用來穿透、成形和粗糙的晶圓表面。內部冷卻液用於最大程度地提高切割效率和減少過程中產生的熱量。研磨板由一個大的、平坦的、有紋理的表面組成,用於減少高面積並提供橫跨晶圓的均勻表面。為了優化工藝,可以用多達20個不同的參數對研磨和拋光板進行編程。這包括過程中要使用的速度、時間和壓力。此外,板也可以針對不同的基板進行調整,從而可以更好地控制結果。最後,拋光板由細金剛石磨料組成,用於進一步提煉和拋光晶片表面。這樣做是通過逐漸減少表面的不規則性,直到達到期望的平坦度水平。同樣,可以針對不同的基板控制最終曲面,從而提高精度和可重復的結果。總之,SPEEDFAM 20B-5L是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光裝置。它易於使用,能夠以最小的努力提供精確、可重復和高質量的結果。其金剛石磨料元件、可調參數和內部冷卻機使其能夠高效有效地生產出多種表面類型,並提供一致的結果,無論使用的基板如何。
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