二手 SPEEDFAM 20B-5L #9363669 待售
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單擊可縮放
ID: 9363669
優質的: 2013
Double sided lapping machine
Workpiece dimensions:
Maximum diameter: 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Maximum down force: 684 kg
Down force range: 0 to 684 kg
Plate dimensions: φ 1355 x φ 458 x 50 t
Upper plate: 434 kg
Upper ring assembly: 460 kg
Lower plate: 18-60 RPM
Frequency: 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: 180 φ x 500 st
Breaker capacity: 125/75 Amps
Main motor: 15 kW
Ring gear motor: 3.7 kW
Sun gear motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.1 kW
Air pressure: 5-6 kgf/cm², 127 N1/min (5.5 kgf/cm²)
Carrier / Ring gear / Sun gear
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Power supply: 200/380 V, 50/60 Hz, 21.1 kW, 3 Phase
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L是一種通用的精密晶圓研磨、研磨和拋光設備。它旨在在各種材料和基材上產生高質量、超平坦、精確紋理化的表面。該系統采用獨特、動態、自裝卸裝置，與20英寸晶圓研磨拋光機集成，快速準確地加工基板。它結合了特殊的人造金剛石研磨和研磨表面，為最精確的平磨和拋光結果。該機配備了先進的自動噴水冷卻系統，以保持必要的工作溫度。20B-5L設計用於需要精密晶圓研磨、研磨和拋光的一系列研究、供應和制造作業。其模塊化、多功能的設計提供了最大的靈活性，以生產包括矽、多晶矽、二氧化矽、砷化的、氧化鋁和石英玻璃在內的一系列基板。也適用於微電子或MEMS的高精度生產。該工具配備了高質量的2軸數字讀出、PLC控制的伺服電機驅動器以及集成的數據收集資產，允許對每個周期的運行進行精確控制和監控。此外，它還為用戶安全提供了一系列先進的安全功能，如緊急停止按鈕、研磨引擎蓋安全功能和防故障護門。SPEEDFAM 20B-5L配備了多種生產力資源,包括一整套流程優化功能,可獲得最準確的結果。它具有多級操作控制，保證了均勻的效果，最佳的研磨，研磨，拋光。它還支持對工藝參數的全方位設置，如潤滑油壓力、研磨拋光速度、材料去除率、折邊等，為每個循環提供精確的結果。最後,20B-5L提供了符合人體工程學的設計,便於操作和設置。它也是緊湊、經濟實惠的，使得它非常適合預算有限的緊張生產空間。通過所有這些功能,SPEEDFAM 20B-5L是需要精確研磨、研磨和拋光的研究和生產操作的理想選擇。
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