二手 SPEEDFAM 20B-5P-II #9007418 待售
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SPEEDFAM 20B-5P-II是一種工業晶片研磨、研磨和拋光設備,適用於半導體和其他需要精細表面光潔度和嚴格公差的行業。該系統由20B基座單元和5P研磨/拋光板兩個主要部件組成。該20B是一個自動化的單軸雙頭研磨裝置,設計用於晶圓研磨和研磨所有類型的材料。它具有18英寸直徑的工件容量、500 rpm的研磨速度和30分鐘的循環時間。5P研磨/拋光板由陶瓷金屬制成,通過精磨滾珠軸承機接接到20B基座上。這有助於確保磨損最小的平穩運行工具。該板還具有5英寸工件容量、等速範圍在0-10,000 RPM之間的變速電動機以及用於快速高效散熱的循環冷卻劑資產。20B底座和5P研磨/拋光板的組合允許在研磨/拋光過程中進行多個深度的工作。SPEEDFAM 20B-5P II模型具有可調節的行進區域,可根據不同的深度進行調整,從而即使在過程中材料厚度發生顯著變化的樣品上也能獲得表面光潔度要求。它還具有廣泛的研磨介質,提供了更好的控制拋光過程。該設備的設計還設有智能安全聯鎖系統,用於操作員安全,以及真空室設計,有助於在加工過程中減少空氣中的顆粒,提高最終產品的整體質量。20 B 5 P II單元是從半導體晶片到醫用元件等許多工業研磨、研磨、拋光需求的高效可靠解決方案。它是一個準確而持久的解決方案,它可以降低成本和周期時間,同時仍能滿足苛刻行業的需求。
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