二手 SPEEDFAM 20B #9294601 待售

SPEEDFAM 20B是晶圓研磨、研磨和拋光設備.該系統旨在提高同時研磨、研磨和拋光多個晶片的精度和效率。該裝置能夠一次處理多達20個晶片，吞吐量高達每小時5,000個晶片。SPEEDFAM 20 B由研磨單元和研磨/拋光單元兩大部分組成。研磨單元由三個站組成；閘站、粗磨站、精磨站。閘站用於為研磨過程打開晶片。晶片最初開放後，移至兩個連續的研磨站。粗磨用大磨石進行，細磨用細級磨石進行。在柵格過程中，晶片通過空氣膜室以獲得一致的質量結果。研磨/拋光單元由五個階段組成；制備、預拋光、拋光、後拋光和檢查。制備站用於在研磨/拋光工藝之前沖洗晶圓表面的安裝漿料。之後，使用預拋光級來降低晶片的表面粗糙度，使其更接近所需的光潔度。此階段之後是拋光階段和拋光後階段,在這些階段進行進一步的表面平滑,並將表面光潔度提高到所需的水平。最後,對晶片進行檢查,以確保它們符合要求的規格。20B能夠實現極高的表面光潔度、損壞和平整度,所有這些都超過了行業的最高標準。再者，它獨特的設計允許它處理各種晶圓尺寸，從75納米到500納米。這使得它成為許多半導體制造應用的理想選擇。此外,20 B是一臺全自動機器,具有集成的PLC控制單元,用戶可以設置自己的加工參數,實時監控研磨、研磨和拋光過程。簡而言之，SPEEDFAM 20B是一種高效的晶圓研磨、研磨和拋光工具，能夠實現高度精確的表面光潔度、平整度和芯片損壞。此外，它的自動化性質和一次處理多個晶片的能力使得它成為大容量晶片處理的絕佳選擇。