二手 SPEEDFAM 20B #9363838 待售

SPEEDFAM 20B是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為基材加工提供最高性能和高效的晶圓生產。SPEEDFAM 20 B功能為15英寸。用於精磨的板材，一個9英寸。用於研磨的載波表,以及5英寸。用於拋光的托架表。該機還配備了MicroPass變速拋光頭，可提供高達10 μ m的最大材料去除速率。對於過程控制，20B系統還帶有用戶友好的圖形界面來管理拋光、研磨和研磨程序。20 B單元的拋光面積在桌子正面有一個壓力歧管，可以用來改變拋光過程的壓力。拋光板還有兩個獨立的拋光頭，利用變速電機，允許微調拋光速率。此外，機器還有一個外部夾具機，用來輕松調節基板和板材之間的間隙。SPEEDFAM 20B還為研磨和研磨活動提供自動梳妝臺工具。這使用戶能夠自動打扮研磨和研磨工具,而且用戶幹預最少。梳妝臺有一個控制器，可以設置梳妝臺參數，監控梳妝臺活動。SPEEDFAM 20 B資產的研磨面積利用旋轉電動機提供高精度研磨。電機變速範圍高達15000轉速/分鐘，具有極好的重復性。該機還配備了3軸（X、Y、Z）配合研磨運動的可編程頭。壓板還具有真空固定裝置，以確保磨削過程中基板的最大附著力。20B型號的研磨區域配備了兩階段研磨工藝。這樣就可以完成預研磨過程和精確研磨過程。研磨過程還利用可調節的夾具設備來實現可重復的研磨參數。研磨還有一個變速馬達，以允許最佳的材料去除速率和一個內置的安全系統，防止操作員受傷。為了安全起見，20 B還采用了一種輕型窗簾，作為操作員與機器研磨拋光區之間的安全屏障。無論何時操作員進入該區域，燈幕都會脫離，並在操作員離開該區域時重新啟動。SPEEDFAM 20B還有一個內置的清潔裝置，以確保機器的所有區域不受汙染。該機包括自動介質填充/沖洗、空氣過濾和靜態消除工具。總體而言,SPEEDFAM 20 B是一種出色的晶圓研磨、研磨和拋光設備,可提供最佳性能和高效的晶圓生產。憑借其自動梳妝臺模型、變速電機、內置安全系統和清潔系統,20B為基板的精磨和拋光提供了一個包羅萬象的解決方案。