二手 SPEEDFAM 20B #9377480 待售

SPEEDFAM 20B設備是一種晶圓研磨、研磨和拋光系統,旨在提供卓越的性能和高質量的結果,同時盡量減少操作員的幹預。此單元既堅固又用戶友好,具有幾個關鍵功能,可提高並行工藝在多個晶圓直徑和厚度方面的總體吞吐量。SPEEDFAM 20 B機采用集成控制器、精密研磨和止動塊的三元工具以及主軸和磨輪電機組件。資產控制器配備了獨立管理研磨、研磨、拋光步驟的雙高精度微處理器。此外,與模型控制器結合使用的單相全橋電動機驅動器可對主軸組件提供高達1,000 RPM的精密電動機控制。20B設備內的精密研磨和拋光塊由鑄鋼制成，為薄片和厚片加工提供了最佳性能。研磨和拋光塊還具有高度的平坦性和表面光潔度，以確保一致的，可重復的結果。包含在20 B內的主軸和砂輪電機系統能夠在所有四個砂輪上達到2.5 RPS的速度。磨輪上的低砂礫金剛石塗層具有出色的磨削性能和非常精細的控制能力。主軸是可調的,允許快速車輪改變與最小的操作幹預.SPEEDFAM 20B單元還配備了氣體控制機，為操作員確保清潔的工作環境。該工具不斷監測和調整氣體流量，以優化研磨和拋光結果，並確保SPEEDFAM 20 B資產的最高性能水平。總體而言,20B是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光模型,旨在以最小的操作員幹預度提供一致、可重復的結果。它堅固的結構和用戶友好的特點使它成為各種晶圓尺寸和厚度的高容量和低容量生產的絕佳選擇。