二手 SPEEDFAM 21B-5P-II #9273133 待售

SPEEDFAM 21B-5P-II是一種用於各種精密工程作業的高容量、自動化研磨、研磨和拋光設備。這種晶圓研磨，研磨和拋光系統設計用於研磨兩側的較大等級，基於Ceria基板。該裝置的專利泵浦Sump™設計循環泥漿用於研磨和拋光在低，均勻的壓力一致的結果。這臺機器的加工面積為21英寸,可以處理200毫米Dia和610毫米L的基板。它的載荷容量從500磅到2000磅不等,可以進行廣泛的加工應用。高速主軸為研磨機提供了優越的光潔度，還可以容納可選的中心孔稀釋板以提高精度。該裝置的高效振動過濾機提供了優越的表面精加工和非常低的粒徑分布。21B-5P-II具有高性能的雙區域研磨和研磨頭,使操作員能夠根據其獨特的研磨、研磨和拋光要求快速準確地加工每種基板。此磁頭允許8000 rev/min的最高速度,並自動調整到各種應用程序。晶圓研磨、研磨和拋光工具建立在一個重型框架上，該框架設計用來承受振動並有助於去除晶圓中的顆粒。該資產配備了帶有彩色液晶觸摸屏界面的直觀控制模型。該控制設備為每個應用程序提供定制的編程以及自動和手動控制選項。SPEEDFAM 21B-5P-II還有一個輔助站，用於裝卸基板以及去除氧化鋁磨料。這種晶片研磨、研磨和拋光系統只需極少的維護，並采用離心幹燥機和旋風分離器，將空氣中的微粒和液體霧氣從設備排出的空氣中分離出來，從而提供清潔幹燥的處理。此外,機器被封裝在隔音箱中,創建一個安靜的工作環境。總體而言，21B-5P-II是一種高效可靠的晶圓研磨、研磨和拋光裝置，適用於加工各種基材，結果一致。這臺機器非常適合需要高精度結果的精密工程師和行業。