二手 SPEEDFAM 22B-5L #9276642 待售

SPEEDFAM 22B-5L是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於精密拋光以及調節和重塑各種晶圓基板。它是一個通用的系統,可以處理復雜的過程,包括精磨、研磨和拋光各種材料、形狀、尺寸和厚度。22B-5L由許多主要元素組成：主軸組件、磨料砂輪、研磨板、拋光墊和樣品支架。SPEEDFAM 22B-5L的主要結構部件是主軸組件，其中包括安裝在鋼架中的無刷交流電動機，以250至10000 RPM的可調轉速旋轉。馬達連接到磨料砂輪，該砂輪被封閉在保護罩中，位於樣品晶片或支架附近。磨輪選擇包括磨料樹脂輪和金剛石輪。研磨板安裝在砂輪上方,由細砂礫介質組成,該介質在表面磨損後可變速拋光。拋光板安裝在研磨板的末端，用於進一步精加工和細化表面。樣品支架包括氣動和手動樣品夾具、可調緊固銷和樣品加長器導軌，使晶片能夠沿著工作表面精確和可重復定位。22B-5L是為提高安全性而設計的,具有用於砂輪和樣品支架的防振表,在設備壓力過大時自動關閉,以及用於精確無級速度控制和負載變化自動補償的先進控制機器。SPEEDFAM 22B-5L提供了簡化的控制面板操作和強大的PC軟件,從而增強了過程監控和可編程性。模塊化設計還允許升級或添加多個選項,例如軸傾斜工具、晶圓旋轉能力和用於資產測量的三軸激光幹涉儀。22B-5L是生產各種高精度元件和晶片的可靠和精確的理想模型,可實現更清潔、更密集的表面飾面、更快的加工率和改進的工藝定義。這種設備易於維修和維護，並產生一致的結果，使其適合於低批量和大批量生產。