二手 SPEEDFAM 22BF-4 #9057336 待售

SPEEDFAM 22BF-4是專門為矽和復合半導體晶片生產而設計的晶片研磨、研磨和拋光設備。該系統提供了速度、準確性和可重復性,以減少光刻過程中的寶貴時間和步驟。磨削過程采用三軸運動控制單元來控制旋轉磨料刀架在晶圓表面的定位和運動。這種運動控制機器提供0.001毫米（10微米）的位置分辨率，確保了非常精確和可重復的結果。刀具還具有200至10,000 rpm控制的主軸轉速，可調進料速率為0.1至20mm/秒，允許對研磨過程進行微調。研磨過程由兩臺交聯機器組成，分別用於晶圓的平面研磨和拋光。通過使用漿漿泵，將磨料泵送到晶片表面，同時控制在壓力和流動中，以達到預期的效果。機器使用金剛石磨料，以確保水平研磨和拋光，而不挖出或損壞晶片。兩臺研磨機的轉速均為150至7,500 rpm,可進行工藝優化。拋光工藝用於平滑粗糙的邊緣，去除晶圓表面的小坑和劃痕。拋光階段采用化學機械拋光機（CMP）或研磨站,具體取決於產品的產量要求。CMP機器對晶片的尺寸進行了改進的拋光、研磨和分析。利用計算機控制的拋光頭壓力、壓板速度和拋光時間，CMP機提供高產生產，對拋光工藝控制一致。22BF-4擁有先進的資產設計,將研磨、研磨和拋光工藝結合到一個平臺中,以提高效率。此模型消除了在過程中手動操作和技術壓力應用的需要。總體設計減少了重復,同時提供了精確的結果。此外，設備還配備了安全功能，以確保操作過程中的操作員安全。SPEEDFAM 22BF-4是專門為晶圓研磨、研磨和拋光而開發的一種強大而可靠的生產機器。憑借其先進的功能和系統設計，該單元可用於生產高質量、可重復的晶片。它是提高半導體晶圓生產效率和安全性的重要工具。