二手 SPEEDFAM 24B #9217162 待售

SPEEDFAM 24B是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於生產精密的平面零件。用於使半導體晶片和其他細膩元件的介電和金屬表面變平和光滑。這個系統由一個頂板和底板組成，兩者都可以容納多達24個晶圓。板材表面采用鑄鋁制成，塗覆陶瓷材料，性能最佳。壓板頂部與齒輪主軸電機相連，可移動壓板並調節磨削和拋光所需的壓力。主軸馬達連接到一個集成的控制模塊，該模塊允許調整研磨/拋光力。板底安裝在直線軸承上以獲得精確的表面平面度。對於晶圓磨削，壓板頂部裝有一個可以向上運動的磨輪。控制模塊允許操作員選擇最合適的研磨壓力、電機扭矩和磨砂輪類型。此外，控制模塊還允許選擇晶片條件下的最佳研磨模式。對於晶圓研磨，壓板底部裝有一個細金剛石磨料碳化矽紙。碳化矽紙的壓力是可調的，可以從單元外控制。而且，壓板的速度是可調的，以調節研磨壓力。晶圓拋光操作是通過使用裝有旋轉刷子的壓板來完成的。刷子由精細的金剛石砂礫組成，能夠在不造成損壞的情況下拋光晶片表面。旋轉刷子的壓力和速度可以調整，以適應特定的拋光要求。24B還有兩個可選的附件模塊，一個是自動晶片裝載機，另一個是光電帶式電鍍機。自動晶片裝載機允許更快的生產處理，而光電帶狀電鍍工具則可以實現厚度不超過0.04毫米的均勻電鍍層。綜上所述，SPEEDFAM 24B資產具有多種設計特點和可調特性，適合晶圓研磨、研磨和拋光。它的可選附件使其能夠更高效地用於精密平面的生產，使其成為廣泛工業應用的理想選擇。