二手 SPEEDFAM 24BTAW #293636360 待售
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單擊可縮放
ID: 293636360
優質的: 1991
Single side lapping machine
Plate, Φ 24"
Ring area: 254 Sq.inch
Cylinder, 3.26"
Down pressure per head: 264 Lbs
Hold down diameter, 9"
Plate speed: 87 RPM
Includes:
(3) Down pressure air cylinders hold downs
Water cooled table
Air acutated parts handling table
Abrasive slurry distribution system
Cycle timer control (30 minutes)
Power supply: 230 V, 60 Hz, 3 Phase
1991 vintage.
SPEEDFAM 24BTAW是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備.該系統能夠在一系列晶圓基板上產生高質量的表面。SPEEDFAM 24 BTAW最多配備24個磨頭,每個磨頭都能控制垂直和水平進給率。這樣可以非常精確地控制磨削距離,從而獲得最佳的加工精度。24個磨頭組織成三列五列,每列根據應用的具體要求在速度和深度上都是可調的。研磨過程由氣動和液壓氣缸組合控制。這樣可以確保極精確的研磨壓力和運動。氣動缸允許對研磨過程進行微調,而液壓缸提供均勻且恒定的研磨壓力。拋光工藝也很精確,允許廣泛的預設操作參數。這確保了準確和可重復的結果。拋光頭在速度和深度上都是可調的,允許嚴格控制過程。該單元還支持針對較大工件的多個光盤拋光設置。24BTAW由耐用部件構成,包括不銹鋼車身、鋁蓋和加固密封件。封面包括多個窗口,可根據需要輕松監控流程和調整參數。該機配備了直觀的手持式控制器,可快速方便地進行參數更改。24 BTAW是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光工具,非常適合高精度晶圓加工。由於其可調的操作參數和堅固的結構,這項資產能夠產生出色的表面。它能夠處理多個圓盤拋光設置,因此適合多種應用。
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