二手 SPEEDFAM 24BTAW #9366022 待售
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ID: 9366022
Lapping machine, 24"
Solid plate with polishing pad
(4) Retaining rings, 9”
Conditioning ring inside diameter: 11 7/8"
(4) Pneumatic pressure plate
Dispensing system
Electrical component
Cylinders
Control valve
Power supply: 220 VAC, 3 Phase.
SPEEDFAM 24BTAW是為半導體工業設計的最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統具有強大而精確的自動化性能,可提供優於傳統圓盤磨床的研磨、研磨和拋光。SPEEDFAM 24 BTAW在研磨、研磨或拋光晶片時提供卓越的精度和重復性。它能夠在幾納米範圍內處理重復性。這樣可以確保實現一致和統一的結果,從而減少過程時間並提高生產率。這個高度復雜的單元包括各種組件。24BTAW的主單元由一個重型鐵板、精密地主軸、X/Y微米表和重型Z軸伺服電機組成。X/Y表由動態平衡、空氣軸承線性運動級和精密接地電動機支架組成,提供精確的運動控制。Z軸伺服電動機具有增量編碼功能,允許用戶控制晶圓的高度。除主機外,24 BTAW還包括一個金剛石磨削杯輪、一個金剛石研磨輪和一個拋光輪。這些工具可以以各種方式配置,以滿足特定應用程序的需求。例如,杯輪可用於粗磨,研磨輪可用於精磨,拋光輪可用於精加工。該機還設有拋光室,允許用戶完全自動化拋光過程。還可以定制SPEEDFAM 24BTAW以滿足特定應用程序的需求。它具有集成的安全和控制系統,允許用戶調整工具設置以滿足他們的需求。資產也可以設置為手動或遠程操作。SPEEDFAM 24 BTAW是一種全面的晶圓研磨、研磨和拋光模型,為半導體行業提供了精度和可重復性。它的多用途組件允許定制以滿足每個應用程序的需求,其精確、自動化的控制設備確保了一致的質量並縮短了處理時間。
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