二手 SPEEDFAM 24DTAW #9007420 待售
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SPEEDFAM 24DTAW是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於提供20 μ m的非定向無刮擦表面。該系統設計用於硬質材料如碳化鎢、陶瓷和復合材料的微加工。它具有自動主軸驅動器、伺服驅動的z軸以及各種處理頭配置。晶圓研磨過程通過用戶輸入自動優化,提供盡可能高的性能水平。該單元采用24主軸驅動機構,提供研磨輪、研磨盤、拋光頭相對於晶圓的精確定位。這樣可以確保加工操作的準確性和可重復性。傳動機還為晶圓研磨工藝提供了高速度和高精度。該工具可以達到高達2000 RPM的速度,峰值扭矩為500 km。資產的伺服驅動z軸可確保精確、可重復的晶圓放置和定位。可以設置z軸以將晶片升降到研磨、研磨或拋光過程中。這是由一個精密編碼器實現的,它讀取晶圓表面的運動並將指令傳遞回驅動器控制器。該型號配有多種處理頭,其設計適合特定的晶圓尺寸和厚度。磁頭也可以配置為研磨、搭接或拋光不同的材料和表面。這為用戶提供了一種通用設備,可以根據其特定的加工需求進行定制。24DTAW擁有一系列用戶友好的功能,使其更易於使用。集成接口提供機械性能的實時反饋,數據記錄功能監控整個晶圓研磨、研磨和拋光過程。此外,系統還具有進程中診斷功能,允許用戶診斷和診斷任何與設備相關的問題。總體而言,SPEEDFAM 24DTAW是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光機,為用戶提供最高水平的準確性和可重復性。刀具的模塊化設計使其易於根據特定需求進行配置,從而為微加工部門提供了一個通用的加工解決方案。
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