二手 SPEEDFAM 24GPAW #293635730 待售

SPEEDFAM 24GPAW是晶圓研磨、研磨和拋光的高效設備.它設計用於半導體晶片的磨削、研磨和拋光，直徑不超過200毫米，無論是在一次操作中還是在多步驟過程中。該系統高度自動化，包括一個獨特的、集成的自動晶圓處理單元。研磨、研磨和拋光過程始於晶片表面的研磨。這可以由原位磨床或標準磨臺完成。磨床上裝有高速旋轉的磨輪，用以減小晶片表面。一旦表面被正確切碎，內部磨削就開始去除更多的顆粒汙染物，以改善表面光潔度。內部磨削可線上或線下進行，可根據應用需求進行詳細調整。研磨後，采用研磨工藝光滑細化表面。研磨通常用貼在平面上的金剛石研磨膜完成。晶片放在研磨板上，受到潤滑劑、金剛石晶體和氣壓的組合。這個過程有效地使晶圓表面恢復了活力。一旦研磨過程完成，拋光過程用於降低表面粗糙度，並從晶圓表面去除進一步的顆粒汙染物。拋光工藝一般采用裝有磨料的旋轉拋光輪。然後，這種化合物受到壓力和機械作用，導致光滑、低劃痕的光潔度。通過SPEEDFAM超聲輔助拋光技術進一步優化工藝，提高了拋光工藝的成功率。SPEEDFAM 24 GPAW是一種高效、自動化的工具,它將研磨、研磨和拋光工藝合並為一個單元。這有助於使工藝更加可靠，提高成品晶片的精度和質量。它是任何晶圓生產線的理想資產。