二手 SPEEDFAM 24GPAW #293672291 待售

SPEEDFAM 24GPAW設備是一臺先進的精密晶圓研磨、研磨、拋光機，旨在幫助半導體制造商實現最高水平的生產吞吐量。該系統采用專利的低振動、低溫工藝,可實現高達每小時1,400晶圓的超高吞吐量。該裝置還能夠提供與50Å RMS一樣精細的表面光潔度，即使在像藍寶石這樣堅硬易碎的材料上也是可以實現的。SPEEDFAM 24 GPAW使用預磨輪的獨特組合進行晶片加工以去除庫存,並使用研磨/拋光板進行最終精加工。預磨輪經過優化，可在整個晶片表面實現一致的表面去除速率，並輔以獲得專利的低振動工藝，大大降低了易碎晶片基板損壞的風險。同時,研磨和拋光板最大限度地減少了表面研磨痕跡,使表面光潔度達到要求的單程公差範圍內,24GPAW臺機器易於設置和操作,並具有預磨輪和研磨/拋光板的直觀控制和參數設置。此外,該工具還具有一個用於批量使用的自動介質傳送資產,可實現長達48小時的無人值守操作,以及一個閉環介質和復合清潔模型,可防止介質在過程之間受到汙染。還提供了可選的閉環流程監控設備,以確保流程在安全參數範圍內進行管理。為確保最大安全，24 GPAW有幾個安全特點，如激光傳感器檢測研磨板表面的物體，兩手啟動系統確保完全控制，以及自動門的鎖定機構。此外,該設備是按照CE標準構建的,並經過了廣泛的可用性測試,以確保易於操作。SPEEDFAM 24GPAW經認證可用於各種工業環境，包括潔凈室和真空控制生產線，並有廣泛的遠程維護和維修服務支持團隊作為後盾。總而言之,SPEEDFAM 24 GPAW是實現精密晶圓研磨、研磨和拋光的最高生產吞吐量的完美工具。