二手 SPEEDFAM 24GPAW #9223158 待售
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ID: 9223158
優質的: 1979
Single side CMP system
No inverter and pump
(2) No steps pressurization
1979 vintage.
SPEEDFAM 24GPAW是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,可以處理各種晶圓和基材材料。它可以用於各種過程,如表面制備、平面化、 邊緣輪廓分析和薄膜去除。它是一個完全自動化的系統,旨在提供一致、高質量的產出。該機組由技術先進的三軸數控研磨主軸提供動力,最高轉速為每分鐘24000轉。這種主軸輔以各種材料精密研磨和研磨的金剛石、磨料和/或樹脂粘合工具。該機還配有變速研磨板和細粒漿工具,實現了非常精確的晶粒均勻分布在整個工作面。操作員能夠使用直觀的控制面板監控所有工藝參數,包括研磨壓力、主軸速度、刀具磨損和泥漿流量。該面板還允許對研磨周期進行簡單的編程,從而在每個過程中實現更高的一致性和精度。為確保最終結果的最佳質量和均勻性,資產配備了精密的表面成像模型。該設備能夠分析、檢測和顯示表面的不規則性和其他特征。還可以保存圖像,事後進行分析,檢查是否有缺陷和不規則性。SPEEDFAM 24 GPAW具有多種安全功能,包括傳感器,可檢測異物的任何進入和工作區的障礙物。傳感器還可以檢測任何振動,這對於系統的一致運行很重要。總體而言,24GPAW是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光裝置,可提供可靠的質量輸出。其直觀的控制和自動化功能使其易於使用,並確保通過最小程度的設置即可獲得準確的結果。24 GPAW是尋找精確表面制備結果的制造商的理想工具。
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