二手 SPEEDFAM 28B-5L #9259365 待售

SPEEDFAM 28B-5L是一種卓越的晶圓研磨、研磨和拋光設備,其設計可產生高質量的表面飾面和精確的厚度公差,而無需繁瑣的體力勞動。該系統適合於高效制備多種半導體基板，如矽、砷化​​氙和石英晶片。這種裝置能夠產生高質量的表面，光潔度非常光滑，而地下的損壞則最小化。它由一個機動化的單主軸砂輪組成，可達到小於1 µm Ra的表面光潔度和高達+1 /-2µm的厚度公差。電機是可調的，提供6000 rpm的最大研磨速度，而研磨輪可以高達72000 rpm的轉速旋轉。它的靈活性超過了許多競爭對手。28B-5L臺機器還具有一個集成的研磨和拋光裝置，用戶可以創建低反射率的表面，並具有非常緊密和一致的脫紙率。研磨和拋光單元由兩塊可單獨調節的壓板組成，可控制研磨/拋光壓力，以精確去除材料。此生產設置非常適合實現+6 /-8µm的最終厚度公差和小於0.1µm的鏡面表面飾面。此外，集成的微粗拋光設計可產生高達0.2µm Ra的低缺陷表面光潔度。液體冷卻劑工具可確保最佳冷卻劑溫度，提高加工穩定性，進一步提高表面光潔度質量。SPEEDFAM 28B-5L還配備了用於中央碎片清除和過濾的先進資產，大大提高了工具的適用性和使用壽命。總體而言,28B-5L模型旨在提供高產量的優越晶圓研磨、研磨和拋光能力,是任何希望及時可靠地產生高質量結果的人的終極解決方案。