二手 SPEEDFAM 28B-5L #9276644 待售

SPEEDFAM 28B-5L晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種多用途系統,設計用於晶圓和薄基板的高精度研磨、研磨和拋光。該裝置能夠處理廣泛的過程，如表面平整度、粗糙度、強調度、平滑度、磨損度、氧化物拋光、硬掩模和介電層。28B-5L臺機器配備了變速直驅電機,可提供卓越的性能和可靠性。主軸電機具有可編程的數字轉速控制和動態轉速調節的精度.該工具還可以進行調整，在其整個工作範圍內提供恒定的扭矩。為了控制晶片的研磨、研磨和拋光過程,該資產具有自動過程控制模型,該模型旨在確保所有與速度、壓力、時間、進給速率和壓力有關的參數保持在最佳範圍內。SPEEDFAM 28B-5L設備還配備了通風良好的全長工作室，單晶片處理應用可以保持無塵。系統還有一個數字觸摸屏接口，允許操作員快速更改流程參數。該單元還包括一臺用於特殊晶圓拋光應用的高拋光機。該工具旨在提供最高質量的表面光潔度，並提高晶片的產量和可重復性。28B-5L資產還配備了排氣模型，用於捕獲和過濾處理過程中產生的任何水分或灰塵。這樣做是為了防止晶片受到任何汙染。總體而言，SPEEDFAM 28B-5L設備的設計符合晶圓研磨、研磨和拋光的最嚴格要求。該系統旨在提供一致、高質量的結果，滿足基材加工和實現精確計量標準的嚴格要求。該單元廣泛應用於半導體和平板顯示行業，具有廣泛的工藝要求。