二手 SPEEDFAM 28B-5L2M #9225432 待售

SPEEDFAM 28B-5L2M是一種最先進的高精度晶片研磨、研磨和拋光系統,設計用於矽片和扁平基板的精加工生產。這種尖端設備利用了先進的MEMS工藝,並提供了最高的產量和最低缺陷的一致結果。該系統具有許多令人印象深刻的功能，從對傳入晶圓特性的過程控制開始。實時晶片監控單元可確保在過程的每個階段之前和期間對每個晶片進行正確的評估。機器人晶片處理機還保證晶片的精確對準，以防止不均勻研磨、研磨和拋光。單一集成的CNC工具可管理所有流程功能,提供靈活性和可重復性。資產可以同時處理串行和並行處理,從而允許一次完成更多的產品。磨削部分的特點是主軸具有七個自由運動軸，允許晶圓邊緣的高清晰度。內置的空氣真空有助於通過去除表面殘留的磨料顆粒來減少加工時間。研磨部分非常高效,具有速度控制功能,可實現高達450rpm的轉速。強大的電動機由變頻器提供動力，並提供可重復、精確的結果。拋光部分是完全自動化的,允許成型和拋光過程.這兩個拋光板能夠獨立運行，確保晶片的所有區域均勻拋光。該模型還具有提供拋光後質量檢查的額外好處。總體而言，28B-5L2M是晶圓研磨、研磨和拋光工藝的可靠、精確的解決方案。其堅固的結構和先進的技術使其成為制造高性能矽片的理想選擇。