二手 SPEEDFAM 2B-9L #9276665 待售
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SPEEDFAM 2B-9L晶片研磨、研磨和拋光設備是晶片基板加工的關鍵解決方案。利用此系統,您可以實現難以置信的晶片間均勻性,同時還可以保證卓越的過程可重復性。2B-9L單元的關鍵組成部分是它的兩個離散在線處理站。第一站「研磨」,包含兩臺獨立控制(X和Y)的氣動晶圓研磨軸機。該站包括一個振蕩輸送機,允許精確,可重復調整研磨級壓力,使你能夠精確研磨任何類型的晶片。下一站為「Lapping」站。這就是將晶片放在固定夾具上並壓在旋轉拋光介質上的地方。本站還設有一系列有助於均勻分配壓力的壓實室;結果是整個晶片表面完全均勻。第三處理站為「拋光」站。該站旨在進一步細化和光滑晶片表面,消除任何殘留的缺陷。該站利用一系列拋光輪子來機械地消除任何殘留的缺陷,然後通過一系列的發燒友來提供與晶片的平整度和汙染控制要求相匹配的精加工光澤。SPEEDFAM 2B-9L的靈活設計也允許進一步定制,如順序處理、工藝周期時間優化和可選的助推器整理。此外,此計算機還提供了多種手動和自動化的過程控制選項,包括存儲最多999個您喜歡的配方(和從USB驅動器導入保存的配方的能力)、實時狀態監視以及多個工作站的操作員控制。總體而言,2B-9L是晶圓處理的理想解決方案,可提供可重復、精確的結果。它易於使用,對整個過程提供準確、精確的控制。使用SPEEDFAM 2B-9L工具,您可以對晶圓加工工作的質量和產品輸出保持信心。
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