二手 SPEEDFAM 30B-5P-2M-N #9410061 待售
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SPEEDFAM 30B-5P-2M-N是一種高度精確可靠的轉鍵晶片研磨、研磨和拋光設備,用於在各種半導體材料上生產平坦和平行表面。該系統采用5軸行程配置,內置PoliPol提取器和集成的洗滌/評估站。該單元包括一個帶有單個180度索引停止的旋轉表，提供位置穩定性，並使操作員能夠快速更換刀具。三個加工室-兩個磨削和一個拋光-配有兩個負載鎖,每個負載鎖具有150公斤的容量和一個獨特的尺寸評估站。研磨室包括兩個75英寸。3-jaw chucks and two 3 I.D. grinding spindles subcable of unidirectional currence at 8500 rpm.主軸安裝在懸臂電動端效應器上，該端效應器在整個研磨過程中穿過晶圓的頂部表面。每個主軸都有一個無刷電機，用於減少振動的機構，以及無級控制可變主軸速度。拋光室包含用於拋光晶片背面部分的真空卡盤。主軸是無刷扭矩馬達，帶有炮塔鑄造，以減少熱量從樣品傳遞到馬達。炮塔從底部可調，允許操作員精細調整轉速。30B-5P-2M-N是一個先進的研磨和拋光機，用戶友好，彩色觸摸屏，提供圖形設置，顯示和數據分析研磨和拋光過程。此工具還包括參數信息保存/檢索功能以及自動啟動/自動停止操作。SPEEDFAM 30B-5P-2M-N具有各種速度、大小和配置,是各種工業和研究用途的理想資產。
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