二手 SPEEDFAM 32 BTAW #9366202 待售

SPEEDFAM 32 BTAW是來自SPEEDFAM的最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該機器具有32英寸晶圓容量,可同時進行精確度和可重復性最高的研磨和拋光。該系統提供手動和自動化的單面和雙面操作,用於高性能研磨和拋光晶片。SPEEDFAM 32BTAW是一個三軸單元,可提供最大的通用性以滿足生產要求。有了兩個獨立的輪頭，機器可以同時處理多個項目。該機還通過高精度的可調表和研磨板增加了靈活性，提供了高精度的定位和定位重復性。它還提供了在手動和自動方面控制之間的選擇,以及在過程中對表面的測量和控制。該工具具有溫度控制、電源管理、研磨/拋光壓力和漿料管理等一系列過程變量。此外,它還提供了一系列分段研磨板,當結合高采樣率能力和實時數據采集時,可以輕松控制過程變量。32 BTAW還配備了一個特殊的周期結束安全裝置，以防止拋光板意外切換，以及一個確保適當啟動處理條件的自動安全聯鎖資產。由於使用了可互換板的概念,該模型還允許快速、輕松地進行設置更改,從而方便訪問。這消除了適應不同晶圓規格的需要。可互換板概念還允許減少車輪消耗、計量和其他成本。為確保質量和性能水平，32BTAW磨床/拋光機設備配有校準板，用於測量和調整磨輪和研磨板的相對位置。此外,該系統還與所有類型的冷卻和空氣軸承系統完全兼容。SPEEDFAM 32 BTAW晶片研磨、研磨和拋光裝置提供了最高水平的精確度、可重復性和靈活性,使客戶能夠實現更好的工藝控制和更好的晶片產量,從而實現更具成本效益的工藝和更高效的生產。