二手 SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221 #9303720 待售

SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221是一種多用途機器，可用於半導體晶圓的同時研磨、研磨和拋光（DLP）。此設備提供模塊化設計,以實現最大的通用性,使用戶能夠快速重新配置設備,以適應特定於其流程要求的各種DLP流程。該機器采用32位LoadPortTM系統,具有「即插即用」功能,可消除手動晶圓傳輸和在多操作處理過程中啟用的情況。LoadPort無需手動幹預即可自動分配和檢索處理過的晶片。32 DPAW-11-T0221配備了各種專門設計用於在處理室內提供受控環境的工藝工具。集成磨損和拋光工具,包括金剛石敷料盤,旨在解決晶圓研磨、研磨和拋光的具體挑戰。該裝置還能夠控制溫度和壓力，以優化晶片加工。一個集成的蓋子和鐘形罐子設計利用惰性大氣，與空氣過濾，以保持室內清潔和減少顆粒汙染。還包括一個可膨脹水再循環機，以冷卻加工後的晶片並保持過程穩定性。SPEEDFAM 32 DPAW-11-T0221利用多軸運動控制工具提供精確定時和調節的運動,以實現有效的晶圓處理。該資產還配備了自動化的負載鎖，以方便更快、更高效地裝卸晶片。高分辨率光學傳感器為多軸運動模型提供反饋和控制數據,從而實現準確、可重復的過程。設備配備了12英寸大的彩色圖形顯示屏，允許用戶實時監控和控制晶圓過程。可用的晶圓映射功能為用戶提供晶圓表面質量的圖形表示,允許他們調整工藝參數以產生所需的結果。系統還提供實時數據記錄和帶有警報條件的監視,以便在此過程中向用戶發出任何意外情況或問題的警報。32 DPAW-11-T0221是滿足嚴格公差和高容量DLP要求的理想解決方案,並得到SPEEDFAM品牌可靠和性能的支持。