二手 SPEEDFAM 32 SPAW #9257661 待售

SPEEDFAM 32 SPAW是一種多功能晶片研磨、研磨和拋光設備，設計用於20mm至260mm尺寸晶片基板的研磨和拋光。它是低成本、快速吞吐量應用程序的理想選擇。32 SPAW由三相磨頭和集成拋光單元組成。磨頭配備了強大的同步電機，可實現廣泛的切削速度和高性能磨削研磨。集成拋光單元由兩臺無刷直流電機提供動力,可實現連續或逐塊工藝自動化。完整的研磨和拋光工藝是基於PHEELS，一個復雜的軟件控制系統。SPEEDFAM 32 SPAW具有九軸運動表，允許快速、精確的研磨操作，具有高重復性和高濕、幹的精度。它能夠在半導體晶圓基板上進行研磨和拋光工藝，如矽、砷、碳化矽和氮化鋁基板。此外，該單元還配備了一個特殊的主軸安裝盤架，允許在機器上放置晶片而不會造成不必要的磨損，提高了機器的性價比。32 SPAW采用高級組件設計,確保生產可靠性和使用壽命。它包括自動更換模具、自動修輪、預編程磨削拋光輪廓等多種安全特性。SPEEDFAM 32 SPAW還集成了一個先進的控制工具，允許由於自動尋路和工具加載而更快地設置，並通過閉環控制資產提高流程一致性。總體而言，32 SPAW是一種可靠、堅固、經濟高效的模型，適用於廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光應用。它提供高性能、準確性、靈活性和可重復性,使其成為大容量制造環境的理想工具。