二手 SPEEDFAM 32 #293771654 待售

SPEEDFAM 32
ID: 293771654
Lapper / Polisher.
SPEEDFAM 32是來自SPEEDFAM Corporation的晶圓研磨、研磨、拋光設備。它旨在為各種晶片的研磨、研磨、拋光提供完整的解決方案。系統設有雙盤拋光室和兩個可360度旋轉的主軸頭。32的強大電機能夠提供高達800 rpm的研磨速率,雙盤拋光輪可處理高達2000 rpm的輸出。再者,砂輪可達3毫米深度,仍保持100nm至2.5 μ m的粗加工範圍。該單元還配備了自動化控制單元,可讓用戶調整研磨壓力、車輪速度和循環時間。它還具有高性能的冷卻機,確保刀具能夠在整個操作過程中保持一致的溫度以獲得最大的效果。而且,它還有一個防塵密封資產,旨在防止灰塵和異物在操作過程中進入模型。SPEEDFAM 32的設計目的是確保高精度的結果,並盡量減少碎片的產生。為進一步確保研磨和研磨均勻,設備采用兩階段工藝,將研磨工藝與拋光工藝分離。在研磨過程中,高精度的研磨輪在拋光輪輕輕去除研磨過程中產生的多余材料或不規則性之前,將材料從晶圓表面移除。為了進一步優化研磨和拋光工藝,32還提供了先進的技術,如獲得專利的金剛石噴射輪,可以用來制造超細的極其光滑的表面。此外,它還可以用其可變旋轉序列和變頻控制器進行精密拋光。最後,系統也易於操作和維護。高級觸摸屏界面允許用戶選擇預編程流程,並輕松監控流程結果。SPEEDFAM Corporation還為客戶提供專門的培訓計劃,使他們能夠快速學習和了解單位的特點。
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