二手 SPEEDFAM 32SWM #9358878 待售

SPEEDFAM 32SWM
ID: 9358878
Wafer waxing machine.
SPEEDFAM 32SWM是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於大批量生產微機電系統(MEMS)和其他小直徑隔離矽矽(SOI)晶圓,具有出色的吞吐量和晶圓對晶圓的均勻性。32SWM是經過時間考驗的高端晶片研磨和拋光行業領導者,其直徑從1「到8」不等,厚度可達600 um。多用途機器配備32塊板以及研磨拋光板,為高效、全面的基板加工而設計。SPEEDFAM 32SWM提供獨特的雙頭設計,可以在一個方向上搭接曲面,從而實現對稱性和高分辨率的光潔度,同時還能夠雙向搭接以實現進一步的均勻性。具有快速連接和自動定心功能的3軸系統可確保研磨晶片時的最高精度。研磨裝置還包括利用受控氣流、減少墊片磨損和以最小的材料損耗確保最大效率的航空機械裝置。此功能還降低了機器的噪音水平,以獲得最大的操作舒適度。為確保一致、低噪音操作,32 SWM的研磨和拋光控制工具可實時處理溫度、速度和負載。為了保證成品的環境可持續性和均勻性,精確控制了研磨板的壓力。軟件還提供了全面的可追蹤性和統計信息,使操作員能夠跟蹤完成的過程。該資產的設計具有最大的靈活性。主機可以補充壓力碗和6英寸真空卡盤,允許處理各種晶圓尺寸和形狀。集成控制單元提供了不同研磨工藝和研磨工藝之間的快速切換。為確保整個生產周期的質量,SPEEDFAM 32SWM型號配有一個綜合質量保證設備,其中包括每個軸線的智能計量和控制系統;實時測量研磨過程的過程監測;以及一個最終過程評估單元。32SWM機器是高容量、可靠研磨和研磨的代名詞,其加工速度比競爭對手的機器高五倍。該刀具具有高分辨率的光潔度和卓越的光潔度,是任何生產線的理想選擇。
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