二手 SPEEDFAM 36 DAW #9294575 待售

SPEEDFAM 36 DAW是一種功能強大、全自動的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它在當時是非常先進的，並且被設計成實現快速和精確的研磨，研磨和拋光一系列晶圓。經過優化，保證了較短的周期時間和較高的表面整理質量。該系統配備了CNC控件，允許編程和執行復雜的研磨、研磨和拋光過程。其用戶友好的圖形界面使操作員能夠定制各種設置，而其先進的軟件則能輕松找到每個單獨晶圓的最佳研磨、研磨和拋光參數。它能夠研磨兩種不同尺寸的晶圓，最大晶圓直徑為200毫米。它可以處理厚達8mm的晶片，研磨深度可達40 mm。這臺機器配備了主軸電機、磨石、研磨板和三種拋光石的選件，具體取決於所需的晶圓特性。電機的驅動機構由無刷伺服電機完成，可實現高精度和重復性。集成冷卻裝置確保晶圓在整個過程中的溫度均勻，這是獲得準確結果所必需的。機器還包括晶片的自動裝卸裝置，由機械臂操作。它配備了用於檢查晶圓表面的視覺感應器，也可以用顯微鏡連接集成視覺工具。一系列診斷功能可確保操作安全性。該機具有自我故障排除和預防性維護功能，並配有精密的軟件程序來檢測任何潛在的錯誤。它還為操作員提供了一種在沒有任何人工幹預的情況下對復雜進程進行編程和執行的方法。36 DAW已成為半導體工業中研磨、研磨和拋光工藝的可靠面板。由於其堅固的結構、精確快速的操作以及易於使用的界面，它可以產生高質量和高度均勻的晶圓表面。