二手 SPEEDFAM 36 DPAW #293758244 待售

SPEEDFAM 36 DPAW是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於在半導體晶圓上生產精密的平坦表面。該系統裝有直徑36英寸的金剛石拋光板，能夠研磨和研磨直徑不超過10英寸的基板。36 DPAW采用了使用聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）和膠體二氧化矽懸浮漿液的濕拋光工藝，以獲得具有出色粗糙度和低總高度變化（THV）測量的平坦表面。該單元由一個以高達180 rpm的速度旋轉的壓板組成，並將晶片和/或基板從多晶金剛石（PCD）芯片中抽出。還包括用於控制操作參數的中央處理器（CPU）。該壓板配備了雙作用錐度（DAT）機構，允許壓板表面向外或向內移動以保持恒定壓力。DAT機構確保在經過多次拋光循環後施加到晶片上的壓力保持均勻。在拋光過程中還監測晶片的邊緣狀況，以防止拋光完成時碎裂或破損。該機器與所有標準晶圓尺寸、基材和化合物兼容。拋光和研磨工藝利用一套獨特的工具和金剛石漿料來獲得所需的產品。金剛石漿料是專門配制的，以提供一致和可重復的表面光潔度，而漿料中存在的磨料顆粒使材料的去除速度更快。SPEEDFAM 36 DPAW可以手動或自動模式操作，以最適合應用的為準。通過手動操作，操作員可以完全控制轉盤的速度和壓力。在自動模式下,CPU會自動調整壓力和RPM,以優化拋光和研磨過程。該單元易於安裝和維護。它配備了一個自我診斷工具，允許用戶識別資產運行過程中可能發生的任何機械或電氣故障。此外，該模型還配備了車載目視檢查設備，可自動檢測和識別晶圓或基板中的任何潛在缺陷。總體而言,36 DPAW為半導體行業中的高質量平面拋光和研磨任務提供了經濟高效的解決方案。該系統以其耐用性、精確度和提高的效率而著稱，使其成為實現理想結果的可靠選擇。