二手 SPEEDFAM 36 DPAW #9287360 待售

SPEEDFAM 36 DPAW是由SPEEDFAM設計、SPEEDFAM Precision Technologies制造的全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備。它能夠在介電、磁性、脆性和陶瓷材料上產生超光潔度的平面和角度。36 DPAW是一個振蕩表系統，設計用於處理晶圓大小的碎片。該設備采用基於沖程的技術，可實現高工藝精度和精加工質量。振蕩臺通過兩個階段的切割和一個拋光步驟，以專利的「Z-度」循環運行。它在整個拋光過程中提供了穩定的工藝條件，確保了統一的工藝結果。SPEEDFAM 36 DPAW的設計包括一個用於精確定位工件臺的帶索引的卡盤，以及三個用於研磨、研磨和拋光的獨立工作站。保持卡盤的設計，以適應晶圓大小的基片在平面和角度形狀。研磨站將金剛石或立方氮化硼（CBN）等研磨介質應用於基板表面，以便從基板上切割和去除材料。研磨站跟隨研磨站，將碳化矽（SiC）和金剛石磨料的組合應用到基板上，以便進一步切割和去除基板上的材料。最後，拋光站將一種溶液（如氧化鋁）應用於基板，使其達到所需的表面光潔度。36 DPAW還配備了一個遠程控制、易於操作的GUI,為操作人員提供操作診斷和過程監控。此外，該機還配有一個高度精確的溫度控制單元，提供溫度穩定的研磨、研磨和拋光工藝。溫度控制裝置還能夠監測晶圓的設置和工藝倒角條件。總體而言，SPEEDFAM 36 DPAW是一種高效、精確的晶圓研磨、研磨和拋光工具，設計用於晶圓尺寸零件的精確加工和微加工。它是一種高度自動化的資產,具有用於高效流程周期以及溫度控制和監視功能的內置智能。