二手 SPEEDFAM 36 DPAW #9294574 待售

SPEEDFAM 36 DPAW（雙面行星磨料輪）是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，為各種半導體應用提供高質量的表面飾面和精度。該系統的設計目的是提供最大吞吐量和最短的過程時間,同時盡量減少操作員的幹預。36 DPAW配備了獨特的行星磨削/研磨和拋光頭,具有三個獨立驅動的輪組,可容納四個不同的拋光/研磨板。此功能允許多坐標和/或多步研磨和拋光操作。三個獨立調節的輪組標稱工作範圍為+/−25 μ m，並通過伺服電機單元驅動，以確保高重復性和準確性。機器進一步配備了高解析度的視訊工具，允許精確的實時觀看研磨/研磨和拋光過程。這一特征使得檢查工藝參數和動態監測工件表面以準確測量和優化工藝參數成為可能。此外，該資產還采用了先進的數控控制模型，為無人值守操作編程，是生產應用的理想晶圓加工設備。SPEEDFAM 36 DPAW旨在提供最大吞吐量和最短的處理時間。可編程的主軸速度允許對各種材料進行高精度的研磨/研磨和拋光操作。該系統還能夠在幹燥和潮濕的環境中運行，使其適用於各種各樣的過程。對於那些需要高水平工藝可重復性和準確性的產品,36 DPAW提供了廣泛的工藝參數,可用於特定的研磨/研磨和拋光操作。該單元適用於需要高分辨率光學研磨和拋光以及高精度研磨操作等復雜工藝的應用。SPEEDFAM 36 DPAW設計為提供可靠、可重復的操作，使其成為高端晶圓處理的理想選擇。其堅固的結構和優越的工藝監控系統保證了成品工件的高精度和高質量的表面光潔度。此外，這臺機器還提供了一種可選的全閉環刀具，用於控制和監控磨削/研磨和拋光過程，從而提高精度。