二手 SPEEDFAM 36 DPAW #9372689 待售
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SPEEDFAM 36 DPAW是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光（DPAW）系統，專為制造當今的超薄晶圓而設計。這臺機器用於研磨直徑可達12英寸（305mm）且厚度可達10 μ m的晶片。它具有八件式卡盤、雙研磨和研磨電機,以及數字粗加工和精加工速度控制功能。36 DPAW還具有主動過程控制（APC）、自適應研磨和精密控制系統技術。所有這些技術都旨在自動維護和優化工藝參數,以及快速響應產品特性和工藝條件的變化。這樣可以確保卓越的加工效果、均勻的晶片和更清潔的工作場所。SPEEDFAM 36 DPAW還包括一個樣本室，一次最多可處理30個樣本。樣品會自動送入腔室,並移動到加工位置進行拋光。該機還具有用於自動過程控制的可編程邏輯控制器（PLC）、保證加工過程中無汙染的真空預室、用於邊緣設置的板載液膜拋光機等操作。該機器由高級不銹鋼制成，能夠承受高負荷。旋轉部件安裝在精密滾珠軸承上,所有電機都安裝在電機冷卻機櫃中,以實現最大的可靠性和降噪效果。該機還配備了觸摸屏控制面板，可輕松快速地設置過程參數。36 DPAW是一種超精密機器,能夠提供卓越的晶圓質量。它配備了先進的工藝技術，旨在確保盡可能高的精度、可重復性和質量。由於外形小巧，機器占用的空間很小，易於安裝和維護。
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