二手 SPEEDFAM 36 GPAW-TD #9274951 待售

SPEEDFAM 36 GPAW-TD晶圓研磨、研磨及拋光設備是一種動態且用途廣泛的系統，用於制備半導體晶圓，用於半導體技術的進一步加工。它利用多用途變速主軸結合振蕩和上下流動能力，確保各種晶圓類型的精密研磨、研磨和拋光。該單元具有極高的可重復性和較低的循環時間,可提供出色的表面光潔度。36 GPAW-TD利用一個獨立的基架來容納主單元,最多可容納5個通過中心桿分離並連接在一起的工藝板。主單元以直接電動機驅動為特色，具有由電動機逆變器變速驅動動態控制和驅動的交流軸電動機。板材的振蕩和上下流動由機器控制，是刀具的獨特特點。主軸包括一個集成的鵝毛筆驅動資產，它確保力的均勻分配，並防止主軸頭的任何不對準。該模型可通過具有廣泛高級功能、自動控制算法、產品庫、周期監控和實時過程優化的觸摸面板進行編程。設備最高轉速為3600 rpm，索引轉速範圍為1-3600 rpm，允許對任何晶片材料進行高精度研磨、研磨、拋光。它還有一個動態控制系統，可以快速準確地監測和調整過程的變量，以確保可重復和可靠的過程條件。SPEEDFAM 36 GPAW-TD晶圓研磨、研磨和拋光裝置還配備了一系列先進的安全功能，如緊急停止開關、安全衛士和內置安全協議的數字控制機器。該工具經過精心設計和優化,可最大程度地減少熱降解和維護需求,確保隨時間推移實現最大的運行穩定性。總體而言，36 GPAW-TD是一種多用途、動態的資產，可用於研磨、拋光和圈合各種不同的半導體晶圓材料，精度極佳。它具有高速、精確、可靠的能力，是半導體行業的理想選擇。